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SNEN 62047-12:2011(D)

Numero di norma
DV-22838/4
Editore
CLC
Comitato Tecnico
TK 47
numero di pagine
29
Prezzo
87.10 CHF
IEC di riferimento
IEC 62047-12:2011
Anno di pubblicazione
2011
Data di ratifica (DOR)
18.10.2011
Data di recesso (DOW)
18.10.2014
Norm titolo tedesco
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Biege-Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-
Norm titolo inglese
Semiconductor devices - Microelectromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures
Norm titolo francese
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 12: Méthode d'essai de fatigue en flexion des matériaux en couche mince utilisant les vibrations à la résonance des structur

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