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SNEN 62047-12:2011(D)

Numéro de norme
DV-22838/4
Editeur
CLC
Comité technique
TK 47
Nombre de page
29
Prix
87.10 CHF
Référence de la CEI
IEC 62047-12:2011
Année de publication
2011
Date de ratification (DOR)
18.10.2011
Date de retrait (DOW)
18.10.2014
Norm titre allemand
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Biege-Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-
Norm titre anglais
Semiconductor devices - Microelectromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures
Norm titre français
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 12: Méthode d'essai de fatigue en flexion des matériaux en couche mince utilisant les vibrations à la résonance des structur

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